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蓄热式催化燃烧设备反应过程为：在将废气进行化氧化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化氧化所需要的起燃温度，再通过催化剂床层使之氧化，由于催化剂的存在，催化氧化的起燃温度约为250-300℃，大大低于直接氧化法的氧化温度650-800℃，因此低能耗远比直接氧化法为低。

催化氧化是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化氧化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰氧化，并氧化分解为CO2和H20，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的有害物的方法。

蓄热式催化燃烧设备简称RCO,它具有RTOgao回收能量的特点和催化反应低温工作的优点，是将低温催化与蓄热技术相结合的一种新型实用型有机废气处理设备。适用于VOCS浓度1000MG/M3--4500MG/M3废气处理场合以及作为低浓度废气吸附浓缩处理工艺的配套设备。