等离子净化设备又称低温等离子净化设备，在电化总的设计概念下分三个既独立又混合的激发系统，即微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

净化机理
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:
(1)电场+电子高能电子
(2)高能电子+分子(或原子) >(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子) +生成物+热
(4)活性基团+活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等由电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。