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低温等离子技术是在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子;二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
同时产生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性非常强的O3，与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质害的物质，或使有毒有害物质转变成无毒无从而使污染物得以降解去除。
有机废气处理低温等离子的特点：
1.使用寿命：使用寿命长。
2.投入和维护费用：一次性投入成本较高，后期维护成本少。
3.二次污染：无二次污染。
4.兼具物理效应、化学效应和生物效应，处理效率高。
