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低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理最新的一种原理。
低温等离子废气处理设备能处理有机物废气主要包括碳烃化合物、苯及苯系物、醇类、酮类、酚类、醛类、酯类、胺类、腈、氰等有机化合物，其中包括：
1、化学石化、有机合成反应设备排气；
2、印刷行业印墨中有机溶剂；
3、机械行业机械喷漆；
4、金属制品产生的气味；
5、汽车行业汽车的喷漆、干燥炉铸件生产设备排气；
6、五金、家具厂喷涂设备排气等。
适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等，同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气跟适合。
