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光学面包板介绍什么是主动式隔振？

发布时间：2019-12-21 浏览次数：384 返回列表

我们上面讨论的阻尼式隔振平台和气浮式隔振平台，均是不考虑fd（作用于精密隔振系统的直接干扰）和u（作用于隔振系统的主动控制力）的情况（见式2 及图6），这种隔振系统我们称为被动隔振系统。
当存在外力干扰fd 时，我们通常需要提供反向的主动控制力，以便让整套系统保持隔振状态。若fd 频繁变化，则需要有较高灵敏度的传感器, 以及精密型驱动装置（通常为压电式或磁致式）, 提供反方向的力或位移，这就是主动隔振系统的工作原理。
目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术，但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值，响应时间比较长，又缺乏灵活的控制算法，所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正，在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力，因而具有理想的隔振效果，正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。